追蹤氣體釋放器設置位置
九個追蹤氣體釋放器應置於氣櫃工作空間內部且距離櫃門平面 200 ± 5 mm 的平面上。該釋放器應以水平方向置放，追蹤氣體的流向應朝向櫃門，且應設置於下列垂直線與水平線的交點上：
(a) 三條等間距的垂直線介於櫃門開口兩側邊界內，其兩條最遠的垂直線設置於距櫃門開口兩側邊界100 ± 5 mm處。
(b) 三條水平線分別距離櫃面開口底部水平邊界100 ± 5 mm、250 ± 5 mm、650 ± 5 mm高度之位置。

採樣探頭設置位置
採樣探頭應置放於外部測量面上且位於下列一系列等分垂直線及水平線之交點上：

•  一系列等分垂直線位於外部測量面上兩側邊界之間，其兩條最外側的垂直線位於外部測量面的兩側邊界上。每一等分垂直線間距不得超過400 mm。
•  一系列等分水平線位於外部測量面上兩水平邊界之間，其兩條最外側水平線位於外部測量面的兩水平邊界上。每一等分水平線間距不得超過400 mm。

以ㄧ個櫃門平面寬度為120 mm，測試櫃門高度為 500 mm的垂直櫃門式的傳統型式氣櫃為例，其外部測量面測試器具設置如圖所示。

外部測量面測試器具設置位置範例
 
當櫃門平面與工作平面不位於等平面時，採樣探頭位置應設置於工作空間垂直面前方延伸50 ± 5 mm處。如櫃門把手的位置於採樣探頭設置於上述位置會阻礙櫃門移動的話，採樣探頭位置應設置於較遠處，但應儘可能的接近外部測量面。每一採樣探頭位置應於測試報告中記錄。
 
測試步驟
將所有供應氣體及抽氣系統打開，並調整至欲設定的流率值。將測試氣體鋼瓶連接至測試氣體調節器及測試氣體釋放器。將採樣探頭連接至收集器及分析系統。打開抽氣幫浦，氣體分析器及數據記錄(儲存)系統，並予以充分時間使之穩定。測試步驟如下：
   (a) 依4.4.2所述，將氣櫃櫃門固定於測試高度位置。
   (b) 將測試氣體打開，並調至流率維持4.5 L/min，並使之穩定。
   (c) 測量及記錄追蹤氣體SF6濃度780秒。
   (d) 360秒後於1 ± 0.2秒內將櫃門關閉至最低位置。
   (e) 240秒後於1 ± 0.2秒內將櫃門打開至測試高度位置。
   (f) 180秒後，將測試氣體關掉，並依照6.3.4所述方法分析資料。
   (g)如果所測出的SF6平均濃度值以6.3.4之方法計算之結果超過0.01 ppm，則於同一測試位置重複上述步驟兩次。

量測結果資料分析
對於測試資料分析如下：
(a) 捨棄起始59秒內所測得的數據。
(b) 計算由測試第60 秒至360 秒所測得追蹤氣體SF6的平均濃度(測得的結果四捨五入至小數第二位)。
(c) 計算由測試第361秒至420 秒所測得追蹤氣體SF6的平均濃度(測得的結果四捨五入至小數第二位)。
(d) 計算由測試第421秒至600 秒所測得追蹤氣體SF6的平均濃度(測得的結果四捨五入至小數第二位)。
(e) 記錄上述(b)、(c)及(d)各個測試時段所測得追蹤氣體SF6的平均濃度及最大濃度值。