首頁
最新臉書消息
關於我們
案例實績
產品介紹
小教室
實驗室安檢
聯絡我們
首頁
最新臉書消息
關於我們
案例實績
產品介紹
小教室
實驗室安檢
聯絡我們
Search
測試氣體釋放器之設置位置
測試氣體釋放器之中心點位置應設於距採樣探頭中心位置 150 ± 5 mm處。採樣探頭應置於內部測量面上,測試氣體釋放器應置於工作空間內部距採樣探頭中心點位置150 ± 5 mm處。
採樣探頭之設置位置
九個採樣探頭設於內部測量面上三條等間距的垂直線與三條等間距的水平線之交點上,形成一中空圓柱體。每一水平線間距為100 ± 5 mm ,每一垂直線間距為100 ± 5 mm。採樣探頭陣列中心點設置於內部測量面上下列等分垂直線與等分水平線的交點上。
並依照:
在內部測量面上一系列的等分垂直線介於距離邊界130 ± 5 mm內,且等分線與等分線的間距不可超過600 mm。
在內部測量面上一系列的等分水平線介於距離邊界130 ± 5 mm內,且等分線與等分線的間距不可超過600 mm。
以ㄧ個櫃門平面寬度為120 mm,測試櫃門高度為 500 mm的垂直櫃門的傳統型式氣櫃為例,其內部測量面測試器具設置如圖所示。
測試步驟
將所有供應氣體及抽氣系統打開,並調整至欲設定的流率值。將測試氣體鋼瓶連接至測試氣體調節器及測試氣體釋放器。將採樣探頭連接至收集器及分析系統。打開抽氣幫浦,氣體分析器及數據紀錄(儲存)系統,並予以充分時間使之穩定。測試步驟如下:
依4.2.2所述,將氣櫃櫃門固定於測試高度位置。
將採樣探頭依次置放於6.2.2所述之測試位置,逐一進行測試。
連接氣體釋放器及流量調節器,將流量調節器打開,並調至流率為2.0 L/min,並使之穩定。
測量及記錄追蹤氣體360秒。
將氣體供應系統關掉,並依照6.2.4所述之方法分析資料。
如果所測出的SF6平均濃度值以6.2.4之方法所計算之結果超過0.01 ppm,則於同一測試位置重複上述步驟兩次
量測結果資料分析
對於測試資料分析如下:
(a) 捨棄起始59秒內所測得的數據。
(b) 計算由測試第60 秒至360 秒所測得追蹤氣體SF6的平均濃度(測得的結果四捨五入至小數第二位)。
(c) 記錄由測試第60 秒至360 秒所測得追蹤氣體SF6的平均濃度及最大濃度值。
首頁
最新臉書消息
關於我們
案例實績
產品介紹
小教室
實驗室安檢
聯絡我們